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射頻電源匹配器一體機
KVMEN? AGM系列全固態射頻電源匹配器一體機，采用目前技術最穩定可靠的功放和直流模塊，從而使產品提供極其穩定的射頻功率輸出，產品更堅固耐用。
內部集成匹配器模塊，采用目前最先進的數字式網絡匹配平臺，自動匹配器以快速、精確和可重復的方式，將等離子體的復阻抗與您期望的調諧范圍進行匹配。與傳統模擬調諧方法相比，數字調諧算法和步進電機驅動可產生更快速，更精準和高重復的響應，始終都保持與負載的阻抗點相契合。
元器件質量高而數量少，使產品的可靠性和設備生命周期最大化。LCD顯示屏既全面又直觀的操作菜單，可在設備的控制面板上直接使用，提供獨一無二的易操作性，提高操作者效率，最小化培訓成本。
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性能參數 |
AGM-1303 |
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功率輸出范圍 |
5W-300W |
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最大反射功率 |
100W |
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功率穩定度 |
±0.1% |
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諧波分量 |
≤-50dbc |
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供電電壓 |
單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
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整機效率 |
≥70% |
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功率因素 |
≥90% |
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匹配器最大傳輸功率 |
500w |
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反射功率（最大功率時） |
<3w |
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最大負荷電流 |
30ARMS |
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最大負荷電壓 |
7500VRMS |
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RF輸出連接器 |
50 Ω, L29,或可定制 |
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匹配時間 |
1~3s |
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可匹配阻抗實部范圍 |
0~80Ω |
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可匹配阻抗虛部范圍 |
﹣200j~ ﹢200j |
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冷卻方式 |
強制風冷 |
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整機重量 |
19.5kg |
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整機尺寸 |
133 mm (H)×440 mm (W)×410 mm (D) |
中山市凱美電子有限公司
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