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氣體質量流量控制器
WARWICK?系列氣體質量流量控制器（MFC）產品是經過實踐驗證的適合多種應用場合的標準產品，流量精準度及性價比高，先進的傳感器和閥控技術，經過實地應用驗證的平臺組件以及高速的模擬/數字線路帶來最精準的氣體流量控制，可以滿足客戶在數值和功能上對于MFC的不同要求。適用于半導體，平板顯示，數據存儲，真空工業，ICP光譜設備及太陽能晶硅制程等不同行業。
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規格 |
MC-AN600 |
MC-AN601 |
MC-AN602 |
MC-AN610 |
MC-AN611 |
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量程范圍 |
單氣體 2-5000SCCM |
單氣體 5-50SLM |
單氣體 30-200SLM |
單氣體2-5000SCCM |
單氣體 5-50SLM |
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閥門類型 |
常開式或常閉式螺線管 |
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接頭 |
1/4〞VCR或1/4〞Swagelok |
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密封 |
橡膠 |
金屬 |
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響應時間 |
到達設定點±2%所需時間≤1SEC |
≤3SEC |
到達設定點±2%所需時間≤1SEC |
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精確性 |
≤滿量程1% |
≤滿量程2% |
≤滿量程1% |
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線性度 |
≤滿量程±0.5% |
≤滿量程±1% |
≤滿量程±0.5% |
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重復性 |
≤滿量程±0.2% |
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壓差 |
7-40PSI |
21-40PSI |
7-40PSI |
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漏率 |
MAX:1X10ˉ7PA.M3/SEC（HE） |
MAX:1X10ˉ11PA.M3/SEC（HE） |
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控制范圍 |
滿量程的2-100% |
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最高操作壓力 |
50PSI |
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承受壓力 |
最大值150PSI |
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通訊模式 |
模擬0-5V/4-20MA |
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輸入電壓 |
+15VDC ±2% at 50MA -15VDC ±2% at 150MA |
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控制信號 |
0-5VDC/4-20MA |
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輸出模擬信號 |
0-5VDC/4-20MA |
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功耗 |
3.1W |
3.5W |
3.1W |
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溫度范圍 |
5-45° |
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材料 |
316LSS,316SS,PTFE,KM45 |
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重量 |
0.9KG |
2.2KG |
1.0KG |
1.2KG |
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