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自動匹配器
KVMEN? AM系列數字式自動匹配器，采用目前先進的數字式網絡匹配平臺，利用我們成熟的專業技術力量，AM自動匹配器以快速、精確和可重復的方式，將等離子體的復阻抗與您期望的調諧范圍進行匹配。與傳統模擬調諧方法相比，數字調諧算法和步進電機驅動可產生更快速，更精準和高重復的響應，始終都保持與負載的阻抗點相契合。
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優勢 |
功能 |
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● 提高生產力、增加產量、降低生產成本 ● 長期穩定的制程時間保證 ● 易于安裝和操作 |
● 快速、精確和可重復的阻抗匹配 ● 最佳的、可直接應用的功能，滿足多種應用領域需求 ● 多功率和頻率范圍 |
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性能參數 |
AM-1310 |
AM-1315 |
AM-1320 |
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頻率 |
13.56MHz ±0.005% （27.12MHz\40.68MHz ） |
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最大傳輸功率 |
1000w |
1500W |
2000W |
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反射功率（最大功率時） |
<3w |
<3w |
<5w |
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最大負荷電流 |
30ARMS |
30ARMS |
30ARMS |
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最大負荷電壓 |
7500VRMS |
7500VRMS |
7500VRMS |
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傳輸效率 |
>90% |
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匹配時間 |
1~3s |
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主電容 |
雙真空電容 |
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可匹配阻抗實部范圍 |
0~80Ω |
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可匹配阻抗虛部范圍 |
-j200~~+j200 |
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RF輸出連接器 |
50 Ω, L29,銅帶輸出,可自定制 |
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控制接口 |
自動手動控制窗口 |
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冷卻方式 |
風冷 |
風冷 |
風冷+水冷 |
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供電電壓 |
單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
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重量 |
7.5KG |
8KG |
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尺寸 |
430mm（D）x220mm（W）x130mm（H）或可定制 |
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中山市凱美電子有限公司
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